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净化工程洁净度要求从哪些方面提出来的

华锐净化 2019-11-25 18:10 阅读


现代工业发展比较迅猛,因而对空气净化技术的需要也随之加大。洁净室净化工程化车间竣工验收相关文件:主要材料、设备和调节装置、自动控制系统等出厂合格证书或检验文件;各项工程质量检验评定表;净化车间设计文件、设计变更说明及有关协议、竣工图净化工程技术不仅包含对空气温湿度以及气压的调节,还包括了其他比如调节洁净度、静电(是一种处于静止状态的电荷)的概念。如今的生产(Produce)活动净化工程空气洁净度的要求是从以下四方面提出来的:
1、产品的微型化
原来体积(volume)为几千立方厘米的电子装配(assemble)件,现在缩减到零点几立方厘米,其中:集成电镀的图形距已小到不足1um,一个电子元件的二氧化硅(Silicon dioxide )保护膜厚0.5um,光致抗蚀剂厚度只有0.2um,而各层甚至只有0.03um。洁净室净化工程净化车间内的各种刷涂、保温工程等应符合有关规定;净化车间的内墙壁、顶棚表面、地面应平整、光滑、不起灰尘、色泽均匀等;送、回风口及各类末端装置、管道、动力线配管、照明等穿越净化车间时,穿越处的密封处理应严密可靠。净化车间在产品生产(Produce)方面发挥了重大作用。
2、加工的精密(precise)化
现代产品的加工精度(精确度)已经进入亚微米(Sub micron)量级,而且正在向更小的量级发展:利用分子束外延技术已可按一个一个原子层来生长单晶材料;利用离子束刻蚀技术也可以对半导体(semiconductor)材料进行一个一个原子的刻蚀剥离等等。因此,科学界提出了在本世纪末可能进行原子级加工的设想,即加工的几何图形宽度可以小到几个原子的线度,产品的加工的精密(precise)化也有赖于净化工程提供良好的环境支撑。
3、产品的高可靠性
高可靠性对于电子化、自动化时代的产品,对于确保人的安全的无菌(意思:没有活菌)(fungus)操作,净化工程对于电子化产品都有特殊重要的意义。洁净室设计采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下,电晕层中产生大量的负离子,负离子在静电场的作用下,不断地向阳极运动。当空气中粉尘通过电场时,粉尘受到负离子的碰撞带上电荷,带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用,向阳极(集尘极)运动,到达阳极后释放电荷。
4、产品的高纯度(或高质量)
由过去认为很纯的“化学纯”进入今天“电子纯”、“超纯”时代的药品、试剂,以及各种超纯材料,都是在高纯度基础上才能使原料充分发挥其固有特性或者呈现出新的特性。
显然,净化工程在上述四种情况下,如果有微粒进入产品,这种微粒就可能(maybe)构成障碍、短路(电流不经用电器、直接连电源两极)、杂质源和潜在缺陷。上述四种要求越高,则允许存在于环境空气中的微粒数量越少,也就是洁净程度越高。因此,净化工程技术已成为科学实验(experiment)和生产(Produce)活动现代化的标志之一。净化工程同时也是保证精密(precise)产品质(Character)量(Quality)的重要手段。

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