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怎样防止无尘室中的微粒子污染?

华锐净化 2020-01-09 12:54 阅读


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无尘室内的浮游微粒子浓度,使用高性能的过滤器(作用:过滤杂质等)即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则:
一、不携入在无尘室内不携入微粒子的方法有:
1)作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
2)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
4)机器及材料带进无尘室前,应尽可能(maybe)在密封状态下带进无尘室前室维护后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
5)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
二、不发生
在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策:
1)减少接触剥离发尘的动作形态(pattern);
2)采用磨耗发尘小的材质;
3)采用发尘小的润滑油(Lubricating oil);
4)机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
三、不储备
若能彻底(thorough)实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁(frequency)出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能(maybe)的。因此“不储备”技术快速地在过滤器(作用:过滤杂质等)中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。
在最高等级的无尘室中从天花板到地面,完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时,空气的流向也必须要有精确的控制(control)才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻,因为在流通路径中有障碍物(barrier)的话,容易产生空气空气涡流(又称:傅科电流) 而形成空气的滞留区域,使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内,而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制(control)气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
无尘室内的浮游微粒子浓度,使用高性能的过滤器(作用:过滤杂质等)即可容易达到零水平,实际的生产(Produce)现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则:
一、不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有:
1)作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
2)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
4)机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水"擦拭(cleanse) ",经风淋室吹淋后才进入无尘室。
5)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
二、不发生
在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。净化标准温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策:
1)减少接触剥离发尘的动作形态(pattern);
2)采用磨耗发尘小的材质;
3)采用发尘小的润滑油;
4)机台应用空压浮上的非接触化工作原理。净化等级一般以工业铝材(不锈钢方通、喷塑方通)做框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周采用防静电垂帘,顶部铺盖密缝盲板,形成一个密缝区,内部净化级别可达100-10万级;特别适用于车间内局部对洁净度要求高的区域,如流水线作业区的高精确度产品组装区。
三、不储备
若能彻底实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。净化等级洁净车间,亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电(是一种处于静止状态的电荷)吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。
在最高等级的无尘室中从天花板到地面,完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时,空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻,因为在流通路径中有障碍物的话,容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域,使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内,而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
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